（一）建设期 设备安装过程中产生的生活污水经厂区化粪池处理后进入市政污水管网；焊接、切割烟尘等通过厂房设置的排风扇排出；废塑料管、废钢管和废包装箱分类收集后外售利用；生活垃圾分类定点收集，定期清运。 （二）运营期 1.废水：含酸废水依托厂区现有废水处理站处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求后，排入市政污水管网。纯水冲洗产生的冲洗废水、纯水制备系统浓水依托厂区现有收集池沉淀处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求后，排入市政污水管网。生活污水经化粪池处理后排入市政污水管网。 2.废气：清洗、光刻等工序产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物等酸性废气采用槽边排风系统集中收集，送现有废气喷淋吸收塔处理后由15m高排气筒排放，非甲烷总烃等有机废气经收集后通过活性炭吸附箱进行处理后由15m高排气筒排放，外排废气须达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2中标准限值。 3.噪声：合理布局，安装隔声设施，厂界噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准。 4.固体废物：废包装材料集中收集回收利用。检测工序产生的不合格品、废显影液、废光刻胶、废活性炭、废药剂包装物和试剂瓶等属于危险废物，依托现有危废暂存间分区存放，危废暂存间须满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）要求；建立收贮台账，定期交有资质的单位处理。生活垃圾分类定点收集，交由环卫部门统一处理。 | 
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