| 1 | 半导体硅晶圆片8/6吋生产线建设项目 | 天水天光半导体有限责任公司现有生产厂区2#厂房内 | 天水天光半导体有限责任公司 | 核工业二〇三研究所 | 该项目位于天水天光半导体有限责任公司现有生产厂区2#厂房内。拟建一条军民两用半导体硅晶圆片8/6吋生产线，2#厂房一楼原厂房面积约2160m2，改造厂房净化等级≤10级为160m2、改造厂房净化等级≤1000级为1180m2，新增动力辅助设施，引进国际先进的半导体外延炉设备、仪器26台/套，购置国内配套设备、仪器17台/套，项目其他设施依托原有工程。项目总投资16000万元，环保投资为25万元。 | （一）建设期
设备安装过程中产生的生活污水经厂区化粪池处理后进市政污水管网排入天水市天水成纪新城地下净水工程—污水处理厂进行处理；厂区2#车间内设备安装焊接、切割产生烟尘等，通过厂房设置的排风扇排出；废塑料管、废钢管和废包装箱经分类收集后外售；生活垃圾定点收集，定期清运。
（二）运行期
1.废水：衬底片清洗废水和纯水制备系统反冲洗水经厂区沉淀池处理，与化粪池处理后的生活污水达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准后一同排入市政污水管网，最终排入天水市天水成纪新城地下净水工程—污水处理厂进行处理。
2.废气：HCl废气经厂区2#车间现有闲置酸雾吸收塔（已建设但未启用）处理后，由15m排气筒高空排放，污染物浓度须满足《大气污染物综合排放标准》表2中限值要求；该排气筒高度不满足高出周围200m半径范围的建筑5m以上的要求，排放速率应按其高度对应的表列排放速率标准值严格50%执行。
3.噪声：优先选用高效低噪设备，合理布局，安装隔声、吸声、消声设施，噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准的要求。
4.固体废物：衬底片、外延片检验检出的不合格衬底片集中收集后由作为单晶硅生产原料进行外售；生活垃圾定点收集，由环卫部门统一清运至生活垃圾填埋场。 | \ |
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